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“就是不知道是哪套系统的波有问题?还是电磁杂波有问题?”
技术员们开着玩笑,开始拆卸接在主体系统上的传感器。
他们准备把这套传感器接到激光光路系统上面,测试一下这套激光光路系统的电磁杂波频率和震动频率等。至于那激光头里射出的激光光束频率,工作站的电脑里早就有了数据。
………
………
就这样,一个小时以后,两套系统的测试数据已经被打印出来。
“许董,原来是震动波的问题。咱们的光刻机主体系统和激光光路系统的震动波频率非常接近,肯会产生共振现象。”万宁古扬了扬手中的A4打印纸,脸上露出开心笑。
这一番折腾下来,他都操碎了心。现在能准确定位这台光刻机故障缺陷的原因,他怎么能不喜出望外?
许振鸣也是如此。通过这一番的科普,他对第三代KrF光刻机的原理也算比较精通了。虽然不能像万宁古、梁宋宋、郝宁这些专家那样精通,要是去忽悠外行人,保准没问题。
更深层的原因是,许振鸣通过这一番实验,对这台国产第三代光刻机的性能有把握。
“我们集团公司总算跨出了那么一小步。国产第一台KrF光刻机将会在不久的未来诞生,而且就诞生在我的手中。嘿嘿……”许振鸣笑的也很开心。
他笑嘻嘻的问心情激动的万宁古,“老万,咱们既然找到了原因,什么时间能解决这个缺陷?”
“应该很快的许董!老梁你说是不是?”万宁古笑嘻嘻的跟郁郁寡欢的梁宋松开玩笑。
梁宋松此时的心情很复杂,庆幸自己没草率出头,说出自己的论断设想,“这要是在会议上提出这台光刻机的故障缺陷原因,我现在应该出丑了。”
他冷冷的想着,复杂的目光看向许振鸣,“他怎么能观察到是接驳机构出了问题?”
梁宋松的内心戏非常多,此时其实已经想好了一个解决这种故障的好办法。但这种时刻,他不想说出来,免得再次受到挫折。
这时,郝宁教授来到许振鸣的身旁。“许董,我建议咱们召开一个技术讨论会议,在会议上通过讨论解决这个问题。”他非常谨慎,没在自己不擅长的领域乱下结论。
“对对对!郝教授说得非常有道理。要完美解决这个技术问题,咱们应该集思广益才行。许董,我建议应该扩大参加技术讨论会议人员的范围,老胡、老章他们这些人都要来参加。”
万宁古喜笑颜开的跟许振鸣提建议。他这个提议倒是有建设性,可以一揽子解决两台光刻机的技术缺陷问题。
但许振鸣此时却不这么想,而是伸手看了看手腕上的手表,“现在是晚饭时间,咱们先吃饭,然后再做决定。呵呵……”
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