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第七百六十七章伟大时刻 求订阅（第2页）

按照光刻机本来的调试流程，一定要通过三次模拟实验以后才能开始进行流片测试。但为了赶时间，郝宁教授才会这么询问胡明镇。

胡明镇闻言，稍稍犹豫了片刻。他性格谨慎，从来都不喜欢冒险。但是为了政治任务，只好微微点头，“老郝，我同意执行流片测试程序。”

“好！”

郝宁教授朝负责流片的技术员们一挥手，“立即执行流片工程测试程序！”

随着他这一声令下，光刻室里的技术员们顿时都忙碌起来，做流片工序的准备工作。

芯片流片非常讲究，仅仅光刻室里就由许多道制程工艺组成。

比如说，蚀刻掩膜片、给掩膜片涂抹光刻胶、清洁激光头、激光头校准对焦……等等等等。

这些工序的精度要求都非常高，而且要在无尘状态操作，不得马虎。

不但如此，光刻室的灯光照明、声波、震动波、电磁波、温度、湿度等技术参数都有严格的规定，否则都会影响光刻硅晶圆片的精度，影响流片的成品率。

“老胡，这台设备我们已经测试过很多次，也通过好几次实战，应该没问题。”郝宁教授见胡明镇的目光一直都盯着光刻机工作站的电脑显示屏，所以才特意走来宽慰几句。

胡明镇闻言收回目光，朝郝宁教授颔首点头，“我知道这次流片测试应该问题不大。但总是感到有些不踏实。”

“是不是就像准备去参加高考一样？”站在他身旁的刘教授说起玩笑话，拿胡明镇开心。

玩笑话虽然是玩笑话，但跟胡明镇此时的心态有点类似。作为搞技术研发的一名专家，每当自己的科研项目接受论证审查时，应该都是这种心态的。

一个半小时以后，梁宋松对这台光刻机再三巡查了一遍，然后朝胡明镇伸出两个大拇指，“报告胡总，全国产第一台KrF光刻机已经做好准备，下面要开始执行光刻制程工序，请指示。”

“开始！”

胡明镇猛然一挥手。

“嘟嘟嘟……”随着这一声令下，这台光刻机主体系统上方的报警灯开始闪烁，隔绝玻璃门开始缓缓关闭。

“好啊，终于开始了。”

“这是一个伟大的时刻！”

“我们这些人都在见证历史啊。”

看到这一幕，刘教授、董教授、单教授等人都非常激动，嘴里忍不住唠唠叨叨的说着话。

因为他们这些人跟胡明镇一样，也是第一次见证这台全国产第三代光刻机的正式执行光刻制程工艺。

这是一个值得纪念的时刻！

刘教授特意看了看自己的手表，时间是：“1997年，2月16日凌晨0点19分30秒！”

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